基于石墨烯的集成化气敏传感单元
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于石墨烯的集成化气敏传感单元，包括：Si+SiO2衬底、Ti/Pt电极、石墨烯、NH3敏感部、H2敏感部以及NO2敏感部。Ti/Pt电极溅射于Si+SiO2衬底上；石墨烯设置于Si+SiO2衬底上；NH3敏感部设置于石墨烯上；H2敏感部设置于石墨烯上；以及NO2敏感部设置于石墨烯上。借此，本实用新型的基于石墨烯的集成化气敏传感单元，集成了三种气敏传感单元，且成本低，工艺简单。
基本信息
专利标题 ：
基于石墨烯的集成化气敏传感单元
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921417550.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-28
授权号 ：
CN211453446U
授权日 ：
2020-09-08
发明人 ：
王峥吴超庞振江李良王海宝耿亮杨文奥琛
申请人 ：
北京智芯微电子科技有限公司;国网信息通信产业集团有限公司;国家电网有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼
代理机构 ：
北京中誉威圣知识产权代理有限公司
代理人 ：
席勇
优先权 ：
CN201921417550.8
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2020-09-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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