本实用新型公开了红外线光辅助PECVD设备，包括红外线激光发生器和与红外线激光发生器相连接的反应室，所述红外线激光发生器的发射端连接有光纤，所述光纤的另一端设置有激光器，所述激光器的底部中心处设置有与光纤一端相连接的聚焦镜，所述激光器的底面设置有环形槽，所述环形槽中等距离间隔设置有定位激光灯，且定位激光灯的发射端均朝下设置；所述激光器安装在三轴位移机构的移动端上，所述第二电动滑台的滑动端固定配合有竖向的推杆电机，所述推杆电机的活塞端固定配合有激光器。本实用新型结构合理，设计巧妙，方便夹持，方便定位，可以调节位置，适合推广使用。