一种钢带镀膜系统

授权

摘要

本实用新型提供一种钢带镀膜系统，包括真空镀膜工艺室、导轨机构、以及靶材进出小车；导轨机构设置在真空镀膜工艺室的前方，并与真空镀膜工艺室呈垂直设置，靶材进出小车滑动安装于导轨机构上。靶材进出小车包括车身以及靶材安装机构；车身设有靶材固定部，靶材固定部垂直于车身设置，靶材安装机构安装于靶材固定部。靶材安装机构包括电机、连接法兰盘、以及靶材安装柱；电机安装于靶材固定部，连接法兰盘安装于电机的输出轴，靶材安装柱与连接法兰盘连接，且靶材安装柱开设有固定孔。本实用新型的钢带镀膜系统能够有效节省人力物力，操作安全系数高，且镀膜致密性好，提高产品良率。

基本信息

专利标题：

一种钢带镀膜系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921468336.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-03

授权号：

CN210620928U

授权日：

2020-05-26

发明人：

刘自然卢威陈元郭碧云何振缪朴

申请人：

肇庆宏旺金属实业有限公司

申请人地址：

广东省肇庆市高新区工业大道30号

代理机构：

广州知顺知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

彭志坚

优先权：

CN201921468336.5

主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

C23C14/34