碳化硅晶体生长车间用排气装置及排气系统

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型涉及车间排气领域，具体涉及一种碳化硅晶体生长车间用排气装置，所述碳化硅晶体生长车间包括用于支撑房顶的纵横交错的房梁，房梁与房顶形成多个凹面区域，包括于所述碳化硅晶体生长车间外设置的抽风机构以及于所述碳化硅晶体生长车间内设置的排气管，其中，所述排气管的一端位于所述碳化硅晶体生长车间内，所述抽风机构与所述排气管的另一端连接，用于将所述排气管内的气体排出所述碳化硅晶体生长车间外；所述排气管与所述凹面区域连通，所述排气管上间隔开设有若干个抽气孔。本实用新型通过与所述凹面区域连通的排气管，使得房顶各个角落的气体被排出所述碳化硅晶体生长车间外，避免了大量的氢气聚集造成的安全隐患。

基本信息

专利标题：

碳化硅晶体生长车间用排气装置及排气系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921474561.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-05

授权号：

CN210636097U

授权日：

2020-05-29

发明人：

徐良曹力力蓝文安占俊杰阳明益朱卫祥刘建哲余雅俊

申请人：

浙江博蓝特半导体科技股份有限公司

申请人地址：

浙江省金华市南二环西路2688号

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司

代理人：

董李欣

优先权：

CN201921474561.X

主分类号：

C30B29/36

IPC分类号：

C30B29/36 C30B35/00