一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，包括研磨机本体和除尘组件，所述研磨机本体顶部设置有一集气罩，该集气罩顶部两侧对称设置有两组气泵，所述除尘组件设置于该集气罩顶部中心，且所述除尘组件通过所述气泵与所述集气罩连通，所述除尘组件顶部设置有定位架。有益效果在于：本实用新型通过下压顶杆以带动集尘袋进入箱体内并实现翻转，从而将集尘袋内外壁进行调换，以将集尘袋内粘附的粉尘翻转到集尘袋外侧，而后通过上下抽动连杆以带动刮板移动，从而通过刮板上的刷毛孔对集尘袋上粘附的粉尘进行扫除，集尘袋的清洁过程无需开启箱体，实用性强。
基本信息
专利标题 ：
一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921495960.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-10
授权号 ：
CN210360835U
授权日 ：
2020-04-21
发明人 ：
陈华鑫高毅苏志民杨开怀
申请人 ：
厦门格雷迪科技有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区翔明路32号第一层
代理机构 ：
泉州市兴博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王成红
优先权 ：
CN201921495960.4
主分类号 ：
B24B37/00
IPC分类号 ：
B24B37/00 B24B37/34 B24B55/06 B24B55/12
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
法律状态
2020-04-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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