一种旋转靶材表面研磨方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种旋转靶材表面研磨方法,旨在采用纵向研磨的方式粗加工旋转靶材的表面,再配合横向走刀来精加工旋转靶材的表面,提高研磨效率,其技术方案:一种旋转靶材表面研磨方法,包括以下步骤:步骤1:固定旋转靶材,使旋转靶材绕其轴线旋转;步骤2:调整砂轮,使砂轮的轴线与旋转靶材的轴线相平行且砂轮的母线与旋转靶材的轴线之间的间距大于旋转靶材的最大半径;使砂轮位于旋转靶材的一端且不与旋转靶材重合;步骤3:沿旋转靶材的轴向移动砂轮,使砂轮逐渐靠近旋转靶材的另一端,所述砂轮的移动距离小于砂轮的宽度;步骤4:沿旋转靶材的径向移动砂轮,使砂轮逐渐靠近旋转靶材去磨削旋转靶材的表面;属于靶材加工技术领域。

基本信息
专利标题 :
一种旋转靶材表面研磨方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114536206A
申请号 :
CN202210211199.7
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-03-03
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
刘毅华余芳刘佰玲雷永杰林昊裴炜炀
申请人 :
先导薄膜材料(广东)有限公司
申请人地址 :
广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
代理机构 :
清远市清城区诺誉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
龚元元
优先权 :
CN202210211199.7
主分类号 :
B24B37/00
IPC分类号 :
B24B37/00  B24B1/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 37/00
申请日 : 20220303
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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