一种旋转管靶材
授权
摘要
本实用新型属于靶材技术领域，尤其为一种旋转管靶材，包括内衬管、标记杆和靶材本体，所述内衬管的端部设置有螺纹件，且内衬管与螺纹件之间为焊接连接，并且螺纹件的外侧连接有防护盖，所述防护盖的边侧设置有固定块，且固定块的内部设置有弹簧，所述弹簧的端部连接有卡杆，且卡杆的端部连接有卡槽，所述标记杆贯穿于固定块的内部，且固定块与标记杆之间为活动连接，所述内衬管的另一端开设有第一连接槽，且第一连接槽的内部设置有固定杆。该旋转管靶材设置有内衬管，不使用时可安装防护盖对内衬管进行保护，在靶材与设备连接处采用不锈钢管通过螺纹方式与设备连接，降低了成本，设置密封圈能够保证加工时的密封性。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转管靶材
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020905427.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-26
授权号 ：
CN212128289U
授权日 ：
2020-12-11
发明人 ：
杨小岗
申请人 ：
陕西欧凯利靶材股份有限公司
申请人地址 ：
陕西省宝鸡市高新开发区八鱼镇姬家殿村八组
代理机构 ：
西安知诚思迈知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
麦春明
优先权 ：
CN202020905427.7
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/32
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-12-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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