一种旋转靶材的清洗装置
授权
摘要
本实用新型涉及溅射靶材的加工装置技术领域，公开了一种旋转靶材的清洗装置，其包括机架、安装机构、打磨喷涂机构以及控制装置；安装机构包括旋转驱动装置和用于定位衬管的位置的定位组件，旋转驱动装置和定位组件均安装在机架上，旋转驱动装置能够驱动定位组件转动，以带动衬管在机架上转动；打磨喷涂机构包括行走驱动装置、第一移动块、压力装置、喷液装置、打磨件和抛光件，行走驱动装置安装在机架上，行走驱动装置与第一移动块连接，行走驱动装置能驱动第一移动块在机架上移动，压力装置和喷液装置均安装在第一移动块上，打磨件和抛光件均连接在压力装置上。本实用新型能在保证靶材质量的情况下，能确保靶材溅射镀膜时的均匀性和镀膜质量。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转靶材的清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022457050.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-29
授权号 ：
CN213702732U
授权日 ：
2021-07-16
发明人 ：
王英洁文崇斌胡智向朱刘
申请人 ：
先导薄膜材料（广东）有限公司
申请人地址 ：
广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
颜希文
优先权 ：
CN202022457050.6
主分类号 ：
B24B1/00
IPC分类号 ：
B24B1/00 B24B27/033 B24B41/02 B24B41/06 B24B47/12 B24B47/20 B24B55/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B1/00
磨削或抛光的工艺；与此工艺有关的所用辅助设备
法律状态
2021-07-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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