一种旋转靶材脱脂装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种旋转靶材脱脂装置，包括炉体，所述炉体的内部设有内胆，所述炉体的顶部设有排风扇和喷淋装置，所述炉体的底部设有集水罩，所述炉体和集水罩之间设有若干个进气孔，所述集水罩的下方连通设有管道一，所述管道一和另一端设有储水箱，所述喷淋装置通过管道二和储水箱连通，所述管道二上设有水泵，所述炉体上设有通孔，所述炉体的外侧铰接设有与通孔相配合的门体，所述门体上设有转轴，所述转轴位于炉体内的一端设有杆体，另一端设有套筒一，所述通孔上设有与杆体两端相配合的缺口，所述炉体的外侧设有与门体相配合套筒二和套筒三，所述套筒一、套筒二和套筒三内插接设有加强杆。本实用新型的优点在于：安全性高，降温速度快。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转靶材脱脂装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021879010.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-02
授权号 ：
CN213266692U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
胥小勇颜建师涂培堤
申请人 ：
福建瓦能科技有限公司
申请人地址 ：
福建省三明市大田县石牌镇上坡村301号
代理机构 ：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 ：
胡文强
优先权 ：
CN202021879010.4
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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