一种磁材镀膜装置的旋转靶材
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
摘要
本实用新型涉及磁控溅射靶材技术领域,且公开了一种磁材镀膜装置的旋转靶材,包括第一靶材,第一靶材的右侧固定连接有第二靶材,第二靶材的右侧固定连接有第三靶材,第一靶材、第二靶材和第三靶材的底部活动连接有基座,基座顶部的两侧均开设有第一长槽,两个第一长槽内部的一侧均活动连接有L形板,L形板的数量为四个,且两个L形板为一组,两个L形板的底端均通过第一长槽活动套装于基座的内部。该磁材镀膜装置的旋转靶材,通过第一靶材、第二靶材和第三靶材之间的配合设置,同时通过靶材之间的四十五度斜角拼接技术,能够有效防止镀膜过程时出现整条缝隙没有靶材的现象,能够有效避免靶材提前损耗,从而提高靶材的利用率。
基本信息
专利标题 :
一种磁材镀膜装置的旋转靶材
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920408150.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-03-28
授权号 :
CN209778984U
授权日 :
2019-12-13
发明人 :
李启炎
申请人 :
浙江云度新材料科技有限公司
申请人地址 :
浙江省宁波市鄞州区潘火街道宁创科技中心1号2806室
代理机构 :
杭州永绎专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
许传秀
优先权 :
CN201920408150.4
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2021-07-02 :
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的生效IPC(主分类) : C23C 14/35
登记号 : Y2021330000567
登记生效日 : 20210616
出质人 : 浙江云度新材料科技有限公司
质权人 : 宁波天瑾创业服务有限公司
实用新型名称 : 一种磁材镀膜装置的旋转靶材
申请日 : 20190328
授权公告日 : 20191213
登记号 : Y2021330000567
登记生效日 : 20210616
出质人 : 浙江云度新材料科技有限公司
质权人 : 宁波天瑾创业服务有限公司
实用新型名称 : 一种磁材镀膜装置的旋转靶材
申请日 : 20190328
授权公告日 : 20191213
2019-12-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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