本实用新型公开了一种靶材专用镀膜装置，包括箱体，箱体底部两侧焊接有支撑腿，箱体内通过螺丝固定有镀膜机，箱体左右两侧内壁上设有清洗组件，清洗组件包括进水管道，进水管道通过管道支架安装在箱体左右两侧内壁上，进水管道上通过通孔设有多个喷嘴，进水管道的上方设有毛刷组件，两侧毛刷组价的方向相对，箱体内前后两侧内壁上设有固定装置，箱体前侧左方设有抽真空管口，抽真空关口密封连接抽真空管道，抽真空管道与真空泵密封连接，真空泵通过固定座固定在箱体外一侧。实用新型结构简单，通过固定装置上的夹具将靶材固定住后，通过夹具上的喷嘴对靶材进行冲洗，以保证镀件的整洁、干燥，避免底涂层出现麻点、附着力差等缺点。