一种玻璃镀膜用钛管靶材
授权
摘要
本实用新型公开了一种玻璃镀膜用钛管靶材，本实用新型公开了一种玻璃镀膜用钛管靶材，包括靶材本体，所述靶材本体包括用于镀膜的管体，所述管体一端连接有便于调节的连接机构，所述连接机构内部设有多个便于固定连接位置的锁紧机构，本实用新型通过设置在管体一端的连接机构和锁紧机构之间的相互配合，连接机构调节靶材与设备连接的位置高度，锁紧机构对不同连接位置进行锁紧，这种连接方式相对于现有的粘合方式，解决了在玻璃镀膜时靶材脱落、镀膜失败和工作效率低的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种玻璃镀膜用钛管靶材
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022396633.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-26
授权号 ：
CN213327813U
授权日 ：
2021-06-01
发明人 ：
刘军社
申请人 ：
宝鸡市佳军金属材料有限公司
申请人地址 ：
陕西省宝鸡市高新开发区八鱼镇清庵堡村
代理机构 ：
西安知诚思迈知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
麦春明
优先权 ：
CN202022396633.2
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/32
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-06-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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