一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车
授权
摘要
本实用新型提供了一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车，包括车架，车架下端固定有若干万向轮，车架上端分别固定有第一支架和第二支架，第一支架的上端固定安装有摆线针轮减速机和旋转阻尼缸；旋转阻尼缸包括壳体和第一转轴，第一转轴转动连接于壳体上，第一转轴上固定有转子，壳体与第一转轴、转子之间形成横截面为扇形的油腔，油腔内充满满了粘性流体，转子上固定有叶片，叶片将油腔分割，叶片上开设有溢流孔；第一转轴的一端固定有第一翻转架，第一转轴的另一端通过联轴器与摆线针轮减速机的输出轴相连；摆线针轮减速机的输入轴上固定有转轮，转轮上固定有把手。本实用新型具有结构简单、省力轻便、使用安全等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921750276.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-17
授权号 ：
CN210529046U
授权日 ：
2020-05-15
发明人 ：
刘泽利江亮熊建
申请人 ：
咸宁南玻节能玻璃有限公司
申请人地址 ：
湖北省咸宁市咸宁经济开发区长江产业园
代理机构 ：
咸宁鸿信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
汪彩彩
优先权 ：
CN201921750276.6
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 B62B3/02 B62B3/04
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-05-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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