一种空心圆柱形被镀件外表面镀膜的旋转装置
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摘要
本实用新型公开一种空心圆柱形被镀件外表面镀膜的旋转装置，旋转装置安装于磁控溅射镀膜机的真空室内，磁控溅射镀膜机的真空室内设有外圆盘和旋转圆盘；外圆盘上设置有外盘支架，旋转圆盘上设有轴盘连接件；旋转装置包括相啮合的第一伞形齿轮和第二伞形齿轮；第一伞形齿轮和第二伞形齿轮分别设有台阶，第一伞形齿轮的连接轴的一端和第二伞形齿轮的连接轴的一端相互垂直连接形成有L形轴，第一伞形齿轮的连接轴的另一端与所述轴盘连接件连接，第一伞形齿轮的台阶与外盘支架连接；第二伞形齿轮的台阶通过螺柱连接有被镀件辅件，被镀件辅件上依次套接有第一弹性挡圈、空心圆柱形被镀件和第二弹性挡圈。
基本信息
专利标题 ：
一种空心圆柱形被镀件外表面镀膜的旋转装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921502550.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-10
授权号 ：
CN211311574U
授权日 ：
2020-08-21
发明人 ：
李醒飞杨安琪夏赣民
申请人 ：
天津大学
申请人地址 ：
天津市南开区卫津路92号
代理机构 ：
天津市北洋有限责任专利代理事务所
代理人 ：
刘子文
优先权 ：
CN201921502550.8
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/35 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-08-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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