具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构

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摘要

本实用新型公开了一种具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构，解决了如何最大程度地避免冲刷晶片与倒角砂轮冷却水进入到精密执行机构中的问题。在Y向移动平台的前后两侧分别连接前部Y向伸缩弹性皮腔（14）和后部Y向伸缩弹性皮腔（13），在Y向移动平台的左右两侧分别连接左部X向伸缩弹性皮腔（6）和右部X向伸缩弹性皮腔（7），组成一个封闭的挡水伞，由于前部Y向伸缩弹性皮腔和后部Y向伸缩弹性皮腔（13）具有前后弹性伸缩的功能，部X向伸缩弹性皮腔和右部X向伸缩弹性皮腔具有左右弹性伸缩的功能，而DD马达安装在Y向移动平台的下面，从而实现了执行机构在实现XYθ三轴的复合运动时，不会发生伞面水渗漏现象。

基本信息

专利标题：

具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921538240.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-17

授权号：

CN211305811U

授权日：

2020-08-21

发明人：

马世杰赵忠志姜志艳岳军任云星田志峰吕沫闫冬

申请人：

西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所）

申请人地址：

山西省太原市和平南路115号

代理机构：

山西华炬律师事务所

代理人：

陈奇

优先权：

CN201921538240.1

主分类号：

B24B9/06

IPC分类号：

B24B9/06 B24B41/02 B24B47/12 B24B41/06 B24B55/02 B24B55/00