一种电阻保护膜镀膜机构
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摘要

本实用新型公开了一种电阻保护膜镀膜机构,包括壳体、侧门、观察窗、控制器、真空泵、盖板、安装板、电动推杆、固定块、侧窗、第一电机、转盘、固定框、镀膜板、导向板、蒸发源、第二电机、凸轮、转轮、推杆、横板、弹簧、导向槽、推板、工件放置板、工件安装块、镀膜槽和红外传感器。本实用新型结构合理,通过第一电机带动转盘在固定框的内部转动,红外传感器监测到工件放置板转动至正对镀膜板的一侧,第二电机带动凸轮旋转,凸轮与推杆一端的转轮配合连接从而推动推杆沿着横板内部的导向槽滑动,推杆推动推板一端的工件放置板滑动至两个导向板之间,推板一端的弹簧拉伸,工件放置板带动工件安装块以及工件移动至蒸发源的顶部,镀膜效率更高。

基本信息
专利标题 :
一种电阻保护膜镀膜机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921564668.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-19
授权号 :
CN211005585U
授权日 :
2020-07-14
发明人 :
李世明刘华举庞晓峰
申请人 :
合镁电子科技(苏州)有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市吴江汾湖经济开发区国道路2008号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921564668.3
主分类号 :
C23C14/26
IPC分类号 :
C23C14/26  C23C14/56  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2020-07-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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