一种荧光膜检测设备

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摘要

本实用新型公开了一种荧光膜检测设备。所述荧光膜检测设备设置有，基板；料盒安装部，通过第一竖直滑轨连接于基板，所述料盒安装部能够沿所述第一竖直滑轨沿竖直方向运动；所述料盒安装部用于放置并固定料盒；取料部，通过第二竖直导轨连接于第一水平导轨，所述第一水平导轨固定于支撑部；载料部，用于放置待测试的荧光膜；所述取料部能够将荧光膜沿第一水平导轨传送到载料部；所述取料部从料盒取荧光膜水平高度等于载料部水平高度；所述取料部沿第二竖直导轨运动的距离小于料盒中相邻两张荧光膜之间的距离；取料部沿竖直方向位置参数少，便于保证取料部竖直方向的位置，增强所述荧光膜检测设备的稳定性。

基本信息

专利标题：

一种荧光膜检测设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921570096.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-20

授权号：

CN210894133U

授权日：

2020-06-30

发明人：

刘振辉庞华贵林港睿李方蔺龙

申请人：

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

申请人地址：

广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921570096.X

主分类号：

G01N21/84

IPC分类号：

G01N21/84