高密封性高度可调电极
授权
摘要
本实用新型公开了高密封性高度可调电极，主要涉及气相沉积技术领域。包括电极总成，所述电极总成包括电极盖板、绝缘体、锁紧环、电极架、电极冷却接口和电极体；还包括位移驱动装置总成；所述位移驱动装置总成包括外驱动件、内表面设置内螺纹的内从动轮、外护壳、与外护壳固定的支撑环、内部中空且外侧顶端设置外螺纹的传动管；所述外驱动件驱动内从动轮的转动，所述内从动轮的内螺纹与传动管顶端的外螺纹传动连接。本实用新型的有益效果在于：摒弃了现有的波纹管技术，采用新的技术实现电极的高度可调，而且解决了采用波纹管技术所带来的一系列不足，无需在设备上开固定孔、密封孔就可接入其他设备；而且增加了辐射泄漏防护技术。
基本信息
专利标题 ：
高密封性高度可调电极
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921576634.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-20
授权号 ：
CN211199399U
授权日 ：
2020-08-07
发明人 ：
杨永亮李娜张泓筠陈亮莫秋燕付秀华尤恩沃德尔
申请人 ：
杨永亮
申请人地址 ：
贵州省黔东南苗族侗族自治州凯里经济开发区开元大道3号
代理机构 ：
济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹玉琳
优先权 ：
CN201921576634.6
主分类号 ：
C23C16/50
IPC分类号 ：
C23C16/50 C23C16/52
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
法律状态
2020-08-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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