一种花篮安装机构及花篮升降快速切换装置
授权
摘要
本申请提供了所述的花篮安装机构，包括上下设置的顶板和底板、安装于顶板与底板之间的侧板，顶板上安装有顶部定位装置，所述的底板上安装有底部定位装置，顶部定位装置包括一安装于顶板上的上部定位气缸、在所述的上部定位气缸驱动下能够上下移动的上部定位头，底部定位装置包括安装在底板上的侧面定位机构及顶升定位机构，侧面定位机构包括一安装在所述的底板上的侧面定位气缸、在侧面定位气缸的驱动下能够左右移动的侧面定位条，所述的顶升定位机构包括一安装在底板上的顶升气缸、在所述的顶升气缸驱动下能够上下移动的顶升定位条。本申请花篮安装机构能够准确定位花篮在花篮安装机构中的位置，硅片能够准确的插入花篮中，不会造成硅片的损坏。
基本信息
专利标题 ：
一种花篮安装机构及花篮升降快速切换装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921576651.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-20
授权号 ：
CN210640197U
授权日 ：
2020-05-29
发明人 ：
张学强戴军张建伟罗银兵刘庆威
申请人 ：
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
殷海霞
优先权 ：
CN201921576651.X
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L21/68 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-05-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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