高真空系统

授权

摘要

本实用新型公开了一种高真空系统，包括：第一真空泵、真空室、第一阀门和第二阀门，所述第一真空泵经所述第一阀门和所述第二阀门与所述真空室相连，其中，所述第一阀门的安装方向和所述第二阀门的安装方向相反，且所述第一阀门和第二阀门串联。该高真空系统，在第一真空泵和真空室之间串联设置两个阀门，并将两个阀门的安装方向相反设置，使得真空室在处于微正压状态时，其中一个阀门能够保证真空室的高真空性，另一个阀门能够保证真空室的微正压，避免了气体的泄漏；同时，在真空室处于高真空状态时，避免了外部气体进入真空室，而对第一真空泵造成损伤的情况。

基本信息

专利标题：

高真空系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921580798.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-20

授权号：

CN210087636U

授权日：

2020-02-18

发明人：

孙海鸥赵梅玉梁仁和

申请人：

北京精仪天和智能装备有限公司

申请人地址：

北京市顺义区林河工业开发区顺仁路53号1幢3层

代理机构：

北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

郭智

优先权：

CN201921580798.6

主分类号：

F04D19/04

IPC分类号：

F04D19/04