一种表面波等离子体发生装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种表面波等离子体发生装置，包括依次连接的微波源、环形隔离器、匹配调节器、波导管、耦合变换器、耦合隔离器和反应器，反应器为上底敞开、下底密封的圆柱形筒体，反应器的上底与耦合隔离器的一面固定连接，耦合隔离器的另一面与耦合变换器固定连接，反应器的侧面设有进气管和气压调节装置，气压调节装置用于维持反应器中的低气压环境。利用前述表面波等离子体发生装置，去掉了现有技术中常用的滤波板，实现多模耦合，在耦合隔离器处实现较大电场，使激发的等离子体密度更大，更均匀。

基本信息

专利标题：

一种表面波等离子体发生装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921588683.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-23

授权号：

CN210537010U

授权日：

2020-05-15

发明人：

孙冰朱小梅

申请人：

大连海事大学

申请人地址：

辽宁省大连市甘井子区凌水街道凌海路1号

代理机构：

大连至诚专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

杨威

优先权：

CN201921588683.1

主分类号：

H05H1/46

IPC分类号：

H05H1/46