一种刷磨机基板厚度测量装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种刷磨机基板厚度测量装置,包含基准部件、测定滚轮、放大机构和绝对值编码器;测定滚轮位于基准部件上侧,待测基板放入基准部件与测定滚轮的间隙中,带动测定滚轮偏转;放大机构包含大传动轮、小传动轮和传动带,大传动轮与小传动轮通过传动带配合,测定滚轮上设置有偏心轴,偏心轴作为大传动轮的转动轴,小传动轮设置在绝对值编码器上;本方案将上滚轮高度变化转换为偏心轴的角度变化,通过皮带轮变速将选择角度放大,轴端连接绝对值旋转编码器,使其检测到旋转角度的变化并在PLC程序内形成数据,从而达到测量厚度功能;简化了机构,大幅降低成本,使结构空间更加紧凑,并可将检测厚度从原来最大5mm提高到最大12mm。
基本信息
专利标题 :
一种刷磨机基板厚度测量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921610700.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-26
授权号 :
CN210036664U
授权日 :
2020-02-07
发明人 :
孙守严
申请人 :
昆山海碧维克机械制造有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市张浦镇花苑路811号3号房
代理机构 :
苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
于浩江
优先权 :
CN201921610700.7
主分类号 :
G01B21/08
IPC分类号 :
G01B21/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B21/00
不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件
G01B21/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B21/08
用于计量厚度
法律状态
2020-02-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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