本实用新型公开了等离子低温灭菌装置，属于等离子设备领域。包括消毒仓和工作仓；工作仓内设有低温等离子发生器和空气压缩机；低温等离子发生器包括绝缘外壳、负离子发生板和正离子发生板；空气压缩机与低温等离子发生器之间设有净化层；本装置将空气先杀菌过滤后，再通过低温等离子进行分解成带负电的离子，对医疗器械表面进行杀菌消毒；带负电离子的在消毒仓中上下进料，形成对流，能够提高负离子空气与医疗器械表面的接触面积，提高消毒效率；置物架多层交错分布，进一步增大接触面积，促进消毒杀菌。