一种霍尔晶圆测试装置

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摘要

本实用新型属于晶圆检测装置，为了解决现有技术中测试霍尔晶圆的手动探针台无法同时测试获得磁场系数的技术问题，提供一种霍尔晶圆测试装置，包括基座、显微镜、磁场发生器、高斯计、移动平台、支座和安装于基座上的支架；显微镜安装于支架上，移动平台固定于基座1上，移动平台上设有放置待测晶圆的置物台；磁场发生器安装于支座上；磁场发生器包括无磁性金属框架，无磁性金属框架的中心处开设通孔，通孔的外围设有中空的圆柱形凸台；圆柱形凸台内盘绕有铜线，铜线的两端连接有通电装置；显微镜的镜头位于通孔的正上方，通孔和放置待测晶圆的置物台相对，待测晶圆位于圆柱形凸台的正下方；高斯计的探头放置于待测晶圆上。

基本信息

专利标题：

一种霍尔晶圆测试装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921628480.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-27

授权号：

CN210982670U

授权日：

2020-07-10

发明人：

张文伟宋瑞潮

申请人：

西安中科阿尔法电子科技有限公司

申请人地址：

陕西省西安市高新区新型工业园西部大道60号研究生教育中心1层中科创星众创空间22号

代理机构：

西安智邦专利商标代理有限公司

代理人：

史晓丽

优先权：

CN201921628480.0

主分类号：

G01R31/28

IPC分类号：

G01R31/28 G01R33/02