一种晶圆载运装置
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摘要
本实用新型涉及一种晶圆载运装置，包括底盖，其上设有容置所述晶圆的容置槽；所述容置槽的内侧设有沿所述容置槽的径向凸起以支撑所述晶圆的环形支撑台；顶盖，所述顶盖设置在所述底盖的一侧且与所述底盖可活动连接，以盖合所述底盖，限位结构，其包括间隔设置在所述顶盖中的若干限位凸台、以及设置在所述容置槽内侧壁且沿所述环形支撑台间隔设置以与所述限位凸台配合限位的若干限位槽；在所述晶圆置于所述环形支撑台且所述底盖和所述顶盖盖合时，所述限位凸台的内壁面与所述晶圆的外边缘抵接以对所述晶圆进行限位。该晶圆载运装置可支撑固定该晶圆，最大程度的保护晶圆，避免晶圆在存储或运载过程中损坏。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆载运装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921651236.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-29
授权号 ：
CN210593139U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
邱摩西刘汝拯陈松平何江波
申请人 ：
义柏科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区简龙街12号4栋1-5楼，5栋1-3楼及1号第5栋厂房501、601,1号1栋厂房401、501
代理机构 ：
深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
林俭良
优先权 ：
CN201921651236.6
主分类号 ：
B65D25/10
IPC分类号 ：
B65D25/10 B65D43/16 B65D85/90
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器，如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器；所用的附件、封口或配件；包装元件；包装件
B65D25/00
其他种类或形式的刚性或半刚性容器的零部件
B65D25/02
内部配件
B65D25/10
将物件定位在容器内的装置
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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