晶圆载运装置
授权
摘要
本实用新型涉及晶圆载运装置，包括相互配合用于支撑收纳晶圆的两个支架；所述支架包括本体以及并排且间隔设置于所述本体上的多个筋板，相邻设置的两个所述筋板之间的间隔形成对晶圆进行限位的限位槽；所述筋板上设有用于支撑所述晶圆且与所述晶圆形成线接触或者点接触的支撑凸台。该晶圆载运装置通过在筋板上设置支撑凸台，进而可与所述晶圆形成点接触或者线接触并且可用于支撑晶圆，一方面减小了晶圆与筋板的接触面积，有效保护晶圆，另一方面减小了筋板的弯度对晶圆高度的影响，增强了晶圆的稳定性，对使用者的后续工艺予以便捷。
基本信息
专利标题 ：
晶圆载运装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122893261.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-23
授权号 ：
CN216333428U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
邱摩西刘汝拯陈松平何江波
申请人 ：
义柏科技（深圳）有限公司;义柏应用技术（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区简龙街1号1栋厂房401、501，4栋厂房201、301，第五栋501、601及12号4栋101-501，5栋101-301
代理机构 ：
深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
沈红曼
优先权 ：
CN202122893261.9
主分类号 ：
B65D6/08
IPC分类号 ：
B65D6/08 B65D25/10 B65D85/30
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器，如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器；所用的附件、封口或配件；包装元件；包装件
B65D6/00
具有全部或主要由金属、塑料、木材或其代用材料制作的两件或多件刚性的，或基本上刚性的元件相互连接或组装构成主体的容器
B65D6/08
骨架或类似有孔的结构的，例如由相互编织或相互咬合的挠性材料制造的
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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