一种晶圆载运装置

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摘要

本实用新型涉及一种晶圆载运装置，包括：底盖，包括盖合凸台，盖合凸台内侧形成放置槽，放置槽的内侧设有环状支撑台，环状支撑台的支撑面为第一斜坡面；顶盖，包括与盖合凸台配合的盖合槽，盖合槽的内侧设有环状凸起；限位组件，包括多个限位槽、以及与限位槽配合的多个限位凸台；限位凸台与晶圆的抵接面为第二斜坡面；锁扣装置，与所底盖和顶盖可拆卸连接以将底盖和顶盖锁合；顶盖与底盖盖合时，第一斜坡面和第二斜坡面分别与晶圆抵靠以限制晶圆活动。该晶圆载运装置可减少晶圆与该晶圆载运装置的接触面积，限制晶圆活动空间，有效的保护了晶圆，另外还通过锁扣装置可便于该底盖和该顶盖的打开或者关闭，进而可提高使用的便捷性。

基本信息

专利标题：

一种晶圆载运装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020887745.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-22

授权号：

CN212829970U

授权日：

2021-03-30

发明人：

邱摩西刘汝拯陈松平何江波

申请人：

义柏科技（深圳）有限公司

申请人地址：

广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区简龙街1号1栋厂房401、501，4栋厂房201、301，第五栋501、601及12号4栋101-501，5栋101-301

代理机构：

深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙)

代理人：

林俭良

优先权：

CN202020887745.5

主分类号：

B65D25/10

IPC分类号：

B65D25/10