一种晶圆载运装置

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摘要

本实用新型涉及一种晶圆载运装置，包括：一端设有开口且为中空结构的上盖；与上盖可拆卸装配的底盖，底盖上设有支撑晶圆的支撑台，支撑台上设有支撑晶圆的支撑面，支撑面为平面；底盖上且位于支撑台的外侧壁上设有与上盖套接的挡墙；挡墙凸出支撑面设置；可拆卸设置在上盖和底盖中的弹片架，弹片架包括主体部以及间隔设置在主体部的外周缘且分别凸出主体部设置以抵靠在放置于底盖上的晶圆上的多个弹性凸部；限位结构，限位结构设置在挡墙的内侧，以对弹性凸部进行限位。该晶圆载运装置可限制该弹片架转动，进而可避免与该晶圆产生摩擦而产生颗粒污染物，起到避免晶圆污染和保护晶圆的作用，可避免晶圆倾斜而导致晶圆碎裂，可便于晶圆拾取和存放。

基本信息

专利标题：

一种晶圆载运装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021939028.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-04

授权号：

CN213650253U

授权日：

2021-07-09

发明人：

邱摩西何江波

申请人：

义柏应用技术（深圳）有限公司

申请人地址：

广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区简龙街1号1栋厂房101-301，2栋厂房101-501，3栋厂房101-501，4栋厂房101、401、501，第五栋101-401、701-801及12号1栋，2栋，3栋

代理机构：

深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙)

代理人：

林俭良

优先权：

CN202021939028.9

主分类号：

B65D8/04

IPC分类号：

B65D8/04 B65D25/10