一种玻璃钝化新型石英舟
授权
摘要
本实用新型公开了一种玻璃钝化新型石英舟,包括石英舟机构，在石英舟机构上设有一级石英舟支架，石英舟槽，一级石英舟，主支架，二级石英舟，石英舟机构上的一级石英舟，一级石英舟的石英舟槽倾角为80度，进行玻璃烧结时需要通入较大流量的气体，调整硅片的角度后，降低气流对硅片的冲击，降低硅片的损伤，而且石英舟槽宽为10mm，定期清理舟槽中残留的玻璃粉，降低硅片边缘粘在石英舟上的几率，该技术方案有效降低硅片破碎的概率，提高良品率，大大降低了产品钝化的成本。
基本信息
专利标题 ：
一种玻璃钝化新型石英舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921668540.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-08
授权号 ：
CN210575873U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
崔文荣
申请人 ：
江苏晟驰微电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市海安经济技术开发区康华路55号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
张彩珍
优先权 ：
CN201921668540.1
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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