镀膜机用材料挡板装置
授权
摘要
本实用新型公开了镀膜机用材料挡板装置，包括支杆，支杆通过旋转驱动装置安装于溅镀室底板，并在旋转驱动装置作用下自转。支杆上端固结有固定挡板组件，固定挡板组件包括固定连接的固定部和第一挡板，固定部与支杆焊接固定。固定挡板组件下方设置有与支杆可拆卸连接的活动挡板组件，活动挡板组件包括固定连接的连接部和第二挡板，连接部套装在支杆上，可沿支杆上下滑动，连接部上设置有与支杆匹配的套孔，连接部和支杆通过销钉固定，连接部和支杆上分别设置有与销钉过盈配合的第一固定孔和第二固定孔。销钉一侧设置有用于顶出销钉的顶出装置。材料挡板装置避免了挡板膜层脱落污染蒸发源，保证了镀膜层的纯度和质量，且结构简单，减少成本。
基本信息
专利标题 ：
镀膜机用材料挡板装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921690086.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-10
授权号 ：
CN211311568U
授权日 ：
2020-08-21
发明人 ：
叶小兵孔德兴
申请人 ：
张家港志辰光学技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港保税区新兴产业育成中心A栋108室张家港志辰光学技术有限公司
代理机构 ：
无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
许云峰
优先权 ：
CN201921690086.X
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/34
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-08-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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