一种真空镀膜机柱状靶的活动遮挡板装置
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摘要
本实用新型公开了一种真空镀膜机柱状靶的活动遮挡板装置，其顶轴承座、底轴承座、两轴承、齿轮共同构成一轴承组件，所述转轴、活动遮挡板、连接板共同构成一活动遮挡板组件，轴承组件和所述活动遮挡板组件成对设置，两活动遮挡板组件成镜面对称，还包括设置于所述安装板相对轴承组件另一侧的、其活塞杆贯穿安装板后位于两齿轮之间的气缸，以及设置于所述活塞杆末端的、且与所述齿轮啮合的双面齿条，通过采用双活动遮挡板开合式设计,采用气缸驱动双面齿条以带动齿轮旋转，再带动转轴转动活动遮挡板的设计，避免因不同心安装而造成的卡壳，避免了两活动遮挡板出现转动卡壳问题，更适于现在流行的孪生磁控双靶结构，可同时实现双靶屏蔽。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机柱状靶的活动遮挡板装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021159734.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-22
授权号 ：
CN214060631U
授权日 ：
2021-08-27
发明人 ：
陸创程冯晓庭李运俊陈思李志荣
申请人 ：
广东汇成真空科技股份有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市大岭山镇颜屋村王园路2号
代理机构 ：
广州知友专利商标代理有限公司
代理人 ：
周克佑
优先权 ：
CN202021159734.1
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/32
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2021-08-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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