一种低温气体供应系统

授权

摘要

本实用新型涉及工业生产供气技术领域，提供一种低温气体供应系统，包括：低温储罐、气化器、缓冲罐和旁通管道，低温储罐的出口与气化器的入口连通，气化器的出口与缓冲罐的下部连通；旁通管道的一端与第一管道连通，旁通管道的另一端与缓冲罐的上部连通；旁通管道上装设有第一流量调节部件，第二管道上装设有第二流量调节部件。本实用新型提供的低温气体供应系统，利用自身的气化器将低温液体汽化为低温气体，同时通过旁通管道引出低温液体对低温气体进行降温，结合第一流量调节部件和第二流量调节部件的流量控制，可实现低温气体的温度和压力的精确控制，同时也能满足低温气体流量精确输出，可间歇供应低温气体，系统操作简单，成本低、能耗少。

基本信息

专利标题：

一种低温气体供应系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921704477.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-11

授权号：

CN211176297U

授权日：

2020-08-04

发明人：

王俊杰高诏诏季伟郭璐娜陈六彪郭嘉

申请人：

中国科学院理化技术研究所

申请人地址：

北京市海淀区中关村东路29号

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

吕伟盼

优先权：

CN201921704477.2

主分类号：

F17C13/00

IPC分类号：

F17C13/00 F17C13/02 F17C13/04 F17C7/04