一种抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座

授权

摘要

本实用新型公开了一种抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座，包括基座体、边口、抛光盘、进水管、出水管、第一水冷槽、水冷回路、第一接管、分回路、第二水冷槽、第二接管、第三回路和第三水冷槽，该抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座通过优化整体结构，第一水冷槽上设置了水冷回路进行循环冷却，水冷回路与分回路结构相同，固定脚用于固定安装架设，回路主体与第一增环、第二增环、第三增环形成完整连续回路进行循环降温，基座体为陶瓷制成，受热变形小，优化整体容易因温度产生较大形变的缺点，提升整体使用效果，水冷基座整体的水冷降温效果好。

基本信息

专利标题：

一种抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921721815.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-11

授权号：

CN210849812U

授权日：

2020-06-26

发明人：

王永成

申请人：

上海致领半导体科技发展有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区创业路369弄1-68号20幢3层301室

代理机构：

上海互顺专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

韦志刚

优先权：

CN201921721815.3

主分类号：

B24B55/03

IPC分类号：

B24B55/03 B24B41/04