陶瓷基座
实质审查的生效
摘要
本发明关于一种陶瓷基座。本发明的陶瓷基座包括：绝缘板，其上设置有高频电极；连接至该绝缘板的轴；连接至该轴的纵向端的连接座；连接至该高频电极的第一杆和第二杆，穿过该轴的该纵向端并延伸至该连接座，以及设置在该连接座中的连接构件，其中该连接构件连接该第一杆和该第二杆。
基本信息
专利标题 ：
陶瓷基座
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114557126A
申请号 ：
CN202180005660.7
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2021-10-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李柱声裵瀚音
申请人 ：
美科陶瓷科技有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
安玉
优先权 ：
CN202180005660.7
主分类号 ：
H05B6/80
IPC分类号 ：
H05B6/80 H01L21/67
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05B 6/80
申请日 : 20211027
申请日 : 20211027
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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