一种小型谐振式红外混合气体探测器
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型公开了一种小型谐振式红外混合气体探测器,该探测器由红外光源、准直透镜模块、光学微腔、分立色散探测器模块组成。该实用新型克服了传统的非色散红外气体探测技术对多种气体测量需要建立多个气体传感通道的问题,降低了传感器的制造成本,提高了传感器的集成度,实现了传感器的小型化;通过吸收红外光引起的薄膜体声波谐振器敏感结构微弱的温度变化,建立窄带红外光强度与薄膜体声波谐振器共振频率之间的变化关系,实现了对气体探测的快速响应、高探测灵敏度和高探测分辨率的优点;窄带通滤波器阵列窗口片和薄膜体声波谐振器阵列基片通过MEMS微加工方法制造,具有集成制造、批量生产、一致性好和成本低廉等优势。
基本信息
专利标题 :
一种小型谐振式红外混合气体探测器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921754450.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-18
授权号 :
CN211179521U
授权日 :
2020-08-04
发明人 :
伞海生王斌
申请人 :
杭州能工科技有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市西湖区玉皇山路阔石板52号
代理机构 :
杭州浙科专利事务所(普通合伙)
代理人 :
刘元慧
优先权 :
CN201921754450.4
主分类号 :
G01N21/3504
IPC分类号 :
G01N21/3504 G01N21/39 G01J3/42 G01J3/28 G01J3/26 B81C1/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/25
颜色;光谱性质,即比较材料对两个或多个不同波长或波段的光的影响
G01N21/31
测试材料在特定元素或分子的特征波长下的相对效应,例如原子吸收光谱术
G01N21/35
利用红外光
G01N21/3504
用于气体分析,例如复合气体分析
法律状态
2021-03-09 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G01N 21/3504
变更事项 : 专利权人
变更前 : 杭州能工科技有限公司
变更后 : 杭州能工科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 310002 浙江省杭州市西湖区玉皇山路阔石板52号
变更后 : 310051 浙江省杭州市滨江区西兴街道联慧街88号联慧科创中心A座10层1011-1019室
变更事项 : 专利权人
变更前 : 杭州能工科技有限公司
变更后 : 杭州能工科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 310002 浙江省杭州市西湖区玉皇山路阔石板52号
变更后 : 310051 浙江省杭州市滨江区西兴街道联慧街88号联慧科创中心A座10层1011-1019室
2020-08-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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