PVD真空离子镀膜机的自动上料装置
授权
摘要
本申请实施例公开了PVD真空离子镀膜机的自动上料装置，包括工件装载单元、装载机械臂，工件装载单元包括能够旋转的主安装轴、通过主安装轴安装的两个或多个固定框架，固定框架用于固定放置工件，且其上部具有使工件通过的上通入槽；装载机械臂包括机械臂支架、安装于机械臂支架上的旋转立柱、通过旋转立柱安装的升降单元、第一端能够转动地安装于升降单元上的连接臂、能够旋转地安装于连接臂第二端的竖直安装轴、通过竖直安装轴固定安装的装载框架、通过竖直安装轴固定安装的操作手柄、及控制系统，装载框架用于通过上通入槽向固定框架上料。本申请技术方案至少具有劳动强度低、上料工作效率相对较高、工作能耗相对较低的优点。
基本信息
专利标题 ：
PVD真空离子镀膜机的自动上料装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921776146.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-22
授权号 ：
CN210657115U
授权日 ：
2020-06-02
发明人 ：
王骏费永强徐侨
申请人 ：
浙江宝鸿新材料股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省湖州市南太湖高新技术产业园区中横港路33号（HD20-1A号地块）
代理机构 ：
北京市隆安律师事务所
代理人 ：
权鲜枝
优先权 ：
CN201921776146.X
主分类号 ：
C23C14/32
IPC分类号 ：
C23C14/32
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2020-06-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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