真空镀膜机的自动快速放气装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了真空镀膜机的自动快速放气装置,包括真空镀膜机以及设置在真空镀膜机右侧的缓冲气室,所述真空镀膜机的内部设置有真空室,真空室的侧壁上设置有前后对称分布的缓冲气道,缓冲气道靠近真空室的侧壁上开设有密集排列分布的放气口,且放气口与真空室连通;缓冲气室的内部安装有横向设置的静电除尘器以及孔板,且孔板位于静电除尘器的上方,孔板上成型有密集排列分布的锥形孔;本实用新型采用密集排列分布的放气口向真空室内放气,有利于往真空室均匀、快速地充气,避免气流在真空室内分布不均;外界气体经过在缓冲气室内缓冲,减缓气体流动,并且被静电除尘器以及孔板配合进行除尘过滤,有效防止灰尘进入真空室内。

基本信息
专利标题 :
真空镀膜机的自动快速放气装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020706118.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-30
授权号 :
CN212247191U
授权日 :
2020-12-29
发明人 :
张大鹏樊静波
申请人 :
广东东华光电科技有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市厚街镇汀山村坑口工业区
代理机构 :
广东有知猫知识产权代理有限公司
代理人 :
高志军
优先权 :
CN202020706118.7
主分类号 :
C23C14/30
IPC分类号 :
C23C14/30  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
C23C14/30
电子轰击法
法律状态
2021-07-09 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C23C 14/30
变更事项 : 专利权人
变更前 : 广东东华光电科技有限公司
变更后 : 广东东华光电科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 523000 广东省东莞市厚街镇汀山村坑口工业区
变更后 : 523000 广东省东莞市厚街镇汀山广场北三路3号
2020-12-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332