密封阀及对应的CVD设备
授权
摘要
本实用新型提供密封阀及对应的CVD设备。所述密封阀包括：具有气缸杆的驱动气缸；驱动框架，其固定连接在气缸杆上且由其驱动沿纵向方向移动；多个密封阀体，其各自包括固定在驱动框架上的阀体背板、其一端铰接在阀体背板上的连杆、以及铰接在连杆另一端上的密封板；以及阀座，其包括对应限制多个密封板纵向移动范围的多个限位件和与多个密封板相对且相匹配的多个阀孔；其中气缸杆驱动阀体背板及密封板沿纵向方向移动、并驱动密封板相对阀孔沿横向方向移动以开关密封阀，当每个密封板接触对应的限位件时，气缸杆通过阀体背板和连杆驱动密封板在限位件上沿第一横向方向朝向对应阀孔移动并密封阀孔。本实用新型能提高阀的开关速度及可靠性。
基本信息
专利标题 ：
密封阀及对应的CVD设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921779541.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-17
授权号 ：
CN210859824U
授权日 ：
2020-06-26
发明人 ：
胡广迎
申请人 ：
理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰兴市高新技术产业开发区环溪路北侧
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921779541.3
主分类号 ：
F16K1/00
IPC分类号 ：
F16K1/00 F16K1/46 H01J37/32
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K1/00
提升阀，即带有闭合元件的切断装置，闭合元件至少有打开和闭合运动的分力垂直于闭合面
法律状态
2020-06-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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