扩散炉结构
授权
摘要

本实用新型涉及一种扩散炉结构,包括一端封闭、另一端敞开的石英管、与石英管敞开一端相连接的密封组件,密封组件包括第一连接件、第二连接件、第三连接件、第一密封圈以及第二密封圈,第一连接件固定套设在石英管上,第二连接件与第一连接件相连接,第三连接件与第二连接件相连接,第一密封圈同时位于石英管、第一连接件以及第二连接件之间,第二密封圈位于第二连接件、第三连接件之间,第三连接件形成炉门。本实用新型在提高了石英管直径的情况下,保证了炉体的密封性,清洗效果好,成本低,适用范围广,还可以对半导体晶片完成扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,解决了闭管扩散要求,同时避免了有毒气体的泄露污染环境危害操作人员。

基本信息
专利标题 :
扩散炉结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921801104.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-24
授权号 :
CN210602790U
授权日 :
2020-05-22
发明人 :
曹文朱廷刚胡小龙
申请人 :
江苏能华微电子科技发展有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市张家港市国泰北路1号科技创业园(能华微电子)
代理机构 :
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 :
王桦
优先权 :
CN201921801104.7
主分类号 :
F27B17/00
IPC分类号 :
F27B17/00  C30B33/02  C30B31/00  
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B17/00
不包含在F27B 1/00至F27B 15/00中任一组的炉
法律状态
2020-05-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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