本实用新型涉及尾气过滤设备技术领域，公开了一种用于多晶硅生产的尾气分级过滤装置，所述吸收塔的一侧贯穿连接有第一连接管、第二连接管和过水管，所述第一连接管、第二连接管和过水管的一端贯穿连接有解析塔，所述吸收塔和解析塔的下表面固定安装有底座，所述炉体的上表面贯穿连接有出气管，所述吸收塔和解析塔的内部固定安装有保护组件，所述出气管的顶端贯穿连接有止回组件，保护组件可以在本实用新型正常工作的过程中防止外壁的高温对工作人员的身体造成伤害，并且在保证炉内正常工作温度的情况下，使炉体外部的温度不会对工作人员造成伤害，止回组件可以在本实用新型进行尾气处理的过程中防止发生逆流情况。