一种超声波单晶硅片清洗槽
授权
摘要
本实用新型提供一种超声波单晶硅片清洗槽，包括丝杆、螺母块、电机、电动伸缩杆、超声波振子、升降板、连接管、真空吸盘以及真空泵，支撑板左端面上侧装配有电机，电机右端面安装有丝杆，丝杆环形侧面安装有螺母块，螺母块下端面装配有电动伸缩杆，电动伸缩杆下端面固定有升降板，升降板上端面中间位置装配有真空泵，真空泵左端面安装有连接管，升降板下端面安装有真空吸盘，真空泵通过连接管与真空吸盘相连接，超声波振子安装在清洗斗内壁，该设计解决了原有单晶硅片不方便超声波清洗的问题，本实用新型结构合理，方便单晶硅片送料清洗，清洗效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种超声波单晶硅片清洗槽
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921873971.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-01
授权号 ：
CN210995606U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
朱汪龙朱玲
申请人 ：
无锡乐东微电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区景贤路52号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
石艳红
优先权 ：
CN201921873971.1
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 H01L21/67 H01L21/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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