一种单晶硅切片清洗装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种单晶硅切片清洗装置，包括清洗箱、设置在清洗箱内的多组滚动清洗装置和设置在清洗箱底部的多个超声波发生器，所述滚动清洗装置包括固定架和设置在固定架下放的滚柱，所述滚柱与电机的输出轴相连接，所述电机设置在清洗箱外壁上，所述固定架上设置有多个用于固定单晶硅切片的固定槽，通过在清洗箱内设置多组滚动清洗装置，滚动清洗装置的固定架上设置多个固定槽从而实现对大批量的单晶硅切片进行同时清洗，通过在固定架下放设置滚柱，电机带动滚柱转动，滚柱的外表面与放置在固定槽内的单晶硅切片的底部相接触从而带动单晶硅切片转动，使得单晶硅切片清洗更加充分。
基本信息
专利标题 ：
一种单晶硅切片清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021930426.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-07
授权号 ：
CN213670835U
授权日 ：
2021-07-13
发明人 ：
张超傅昭林杨蛟
申请人 ：
成都青洋电子材料有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市崇州经济开发区同心路
代理机构 ：
成都金英专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
袁英
优先权 ：
CN202021930426.4
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2021-07-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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