一种用于单晶硅切片的研磨装置
授权
摘要

本实用新型涉及单晶硅加工装置技术领域,且公开了一种用于单晶硅切片的研磨装置,包括支腿,所述支腿的顶部固定安装有工作台,所述工作台顶部的中部固定安装有研磨台,所述研磨台内部的中部开设有集水腔,所述研磨台的顶部开设有过水孔,所述工作台顶部的左右两侧固定安装有位于研磨台左右两侧的固定座,所述固定座外侧面的中部开设有通孔。该用于单晶硅切片的研磨装置,通过第二连接板调节固定板的位置,使得固定板与待加工件紧密接触,然后通过螺栓对第二连接板进行固定,使得固定板能够将待加工工件固定稳定,保证了研磨过程中加工工件不会发生偏移,从而导致研磨出现误差,使得最终的研磨效果达不到预期的效果。

基本信息
专利标题 :
一种用于单晶硅切片的研磨装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921901765.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-06
授权号 :
CN211439503U
授权日 :
2020-09-08
发明人 :
林炳集
申请人 :
林炳集
申请人地址 :
广东省江门市台山市川岛镇下川茫洲茫头村3号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921901765.7
主分类号 :
B24B37/10
IPC分类号 :
B24B37/10  B24B37/30  B24B57/02  B24B57/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/10
用于单侧研磨
法律状态
2020-09-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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