一种单晶硅片垂直清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种单晶硅片垂直清洗装置，属于硅片超声波清洗设备技术领域，本实用新型包括清洗带、传送带、药水池和电机，清洗带底部有数个分布均匀的凹槽，凹槽底部设有多个超声波振子，清洗带的外围设置转动块和转动杆，通过转动块和转动杆旋转清洗带，使凹槽中的单晶硅片和药水落入传送带中，药水通过传送带上的网眼落入药水池中，而传送带将单晶硅片传送至出料口。本实用新型提供的单晶硅片垂直清洗装置结构简单，操作方便，维修成本低，解决了现有的清洗装置结构复杂，维修成本高，时间长，影响工作效率的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种单晶硅片垂直清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921861677.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-31
授权号 ：
CN210995605U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
朱汪龙朱玲
申请人 ：
无锡乐东微电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区景贤路52号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
曹佩佩
优先权 ：
CN201921861677.9
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B3/08 H01L21/67 H01L21/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
