一种用于单晶硅片的清洗装置
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摘要
本实用新型公开了一种用于单晶硅片的清洗装置，包括清洗箱，所述刷盘的下表面固定连接有刷板，所述清洗箱的内壁固定连接有支撑横板，所述支撑横板的上表面固定连接有旋转装置，所述旋转装置的上表面转动连接有转盘，所述转盘的上表面固定连接有固定柱，所述转盘的上表面设置有凹槽，所述凹槽的内底面固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的上表面固定连接有放置盒，所述转盘的内部且位于凹槽的下方设置有第一通孔。本实用新型中，旋转装置使清洗单晶硅片按步骤进行清理，清洗更全面，更干净，传送带使清洗后的单晶硅片传出，液压装置带动刷盘对单晶硅片进行清洁洗刷，保证清洁的程度，防止残留的灰尘。
基本信息
专利标题 ：
一种用于单晶硅片的清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021992613.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-11
授权号 ：
CN215466309U
授权日 ：
2022-01-11
发明人 ：
王志伟
申请人 ：
天津锋铠途科技有限公司
申请人地址 ：
天津市北辰区宜兴埠镇华盛道南侧（格林豪泰酒店旁）
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021992613.5
主分类号 ：
B08B1/02
IPC分类号 ：
B08B1/02 B08B3/02 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具，刷子或类似工具的清洁方法
B08B1/02
运动中工件的清洁，如在传送装置上的成卷织物或物品
法律状态
2022-01-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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