一种用于抱持晶圆盒的联动对称连杆装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型公开了一种用于抱持晶圆盒的联动对称连杆装置，包括支撑板、抱持机构和连杆驱动机构，所述抱持机构由对称结构的左托杆和右托杆构成，所述连杆驱动机构设于所述支撑板上驱动所述左托杆和右托杆水平开合，所述左托杆的内边缘和所述右托杆的内边缘分别具有定位沟槽。本实用新型用抱持方式的承载晶圆盒，能提高使用范围适用性，具有能够灵活地配置在半导体制程工艺设备中的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种用于抱持晶圆盒的联动对称连杆装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921996821.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-15
授权号 ：
CN211320069U
授权日 ：
2020-08-21
发明人 ：
徐铭庄海云李志峰王雪松
申请人 ：
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
申请人地址 ：
上海市闵行区紫海路170号
代理机构 ：
上海远同律师事务所
代理人 ：
张坚
优先权 ：
CN201921996821.X
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/687
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-08-17 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/677
登记生效日 : 20210805
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 上海至纯洁净系统科技股份有限公司
变更后权利人 : 上海至纯洁净系统科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 200241 上海市闵行区紫海路170号
变更后权利人 : 200241 上海市闵行区紫海路170号
变更事项 : 专利权人
变更后权利人 : 至微半导体（上海）有限公司
登记生效日 : 20210805
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 上海至纯洁净系统科技股份有限公司
变更后权利人 : 上海至纯洁净系统科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 200241 上海市闵行区紫海路170号
变更后权利人 : 200241 上海市闵行区紫海路170号
变更事项 : 专利权人
变更后权利人 : 至微半导体（上海）有限公司
2021-08-17 ：
著录事项变更
IPC(主分类) : H01L 21/677
变更事项 : 发明人
变更前 : 徐铭 庄海云 李志峰 王雪松
变更后 : 邓信甫 徐铭 陈新来
变更事项 : 发明人
变更前 : 徐铭 庄海云 李志峰 王雪松
变更后 : 邓信甫 徐铭 陈新来
2020-08-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN211320069U.PDF
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