用于振动感测装置的振动机构以及振动感测装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于振动感测装置的振动机构以及振动感测装置。其中，所述振动机构的结构为：包括由基板和外壳围成的具有第一腔体的封装结构，以及收容在所述第一腔体内且设置在所述基板一表面上的MEMS芯片；还包括振动元件，所述振动元件固定设置在所述基板的另一表面上，所述振动元件与所述基板围合成第二腔体；在所述基板上设置有通孔，所述通孔将所述MEMS芯片的背腔与所述第二腔体连通并形成密闭空间，且在所述密闭空间内填充有气体；所述振动元件被配置为：用于响应外部的振动。本实用新型的一个技术效果为：将MEMS芯片固定在基板上，并单独设置了振动元件，能准确的感知MEMS芯片两端的压差，提升了产品的灵敏度和失真稳定性。
基本信息
专利标题 ：
用于振动感测装置的振动机构以及振动感测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922007484.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-19
授权号 ：
CN211085470U
授权日 ：
2020-07-24
发明人 ：
端木鲁玉付博方华斌张硕
申请人 ：
歌尔微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
代理机构 ：
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
杨璐
优先权 ：
CN201922007484.3
主分类号 ：
G01H17/00
IPC分类号 ：
G01H17/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01H
机械振动或超声波、声波或次声波的测量
G01H17/00
不包含在本小类其他组中的机械振动或超声波、声波或次声波的测量
法律状态
2020-07-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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