一种降温装置及降温系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种降温装置及降温系统，降温装置包括承载硅片的硅片载具、搬运所述硅片的机械手、安装在所述机械手上对所述硅片表面进行清理及降温的吹气组件、提供高压气体给所述吹气组件的气路组件。本实用新型提出的降温装置及降温系统，其吹气组件固定在机械手上可随着机械手动作，可有效清除硅片表面附着的制绒残液，并使得硅片的温度降低，避免硅片绒面造成局部破坏，有效的提高了产品的质量和可靠性。
基本信息
专利标题 ：
一种降温装置及降温系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922014029.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-20
授权号 ：
CN210607299U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
左国军申斌任金枝
申请人 ：
常州捷佳创精密机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
代理机构 ：
深圳市康弘知识产权代理有限公司
代理人 ：
朱建霞
优先权 ：
CN201922014029.6
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/67
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法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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