拉压力检测装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种拉压力检测装置，用于检测玻璃载片及晶圆分离过程中的拉力和/或压力，包括：拾取组件，用于拾取玻璃载片；连接件，与所述拾取组件固定连接；升降组件，与所述连接件滑动连接，以带动所述拾取组件升降，且所述连接件能够相对于所述升降组件沿竖直方向滑动；以及传感组件，与所述升降组件相连接，所述传感组件随所述升降组件升降时能够与所述连接件抵接。上述的拉压力检测装置，通过拾取组件拾取玻璃载片，并通过升降组件带动拾取组件抬升，从而带动玻璃载片抬升直至玻璃载片与晶圆完全分离，传感组件能够实时检测玻璃载片与晶圆分离过程中的拉力和/或压力数值，防止拉力突变而损坏玻璃载片，安全性高。

基本信息

专利标题：

拉压力检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922032614.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-22

授权号：

CN211291831U

授权日：

2020-08-18

发明人：

童灿钊李迁巫礼杰仰瑞贺少鹏王博赵冬冬刘盛高云峰

申请人：

大族激光科技产业集团股份有限公司

申请人地址：

广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号大族激光大厦

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

梁彦

优先权：

CN201922032614.9

主分类号：

G01L5/00

IPC分类号：

G01L5/00