一种载台及搬运机器人
授权
摘要
本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，公开一种载台及搬运机器人。其中，载台包括载盘，载盘上设置有凹槽和多个凸台，凹槽被配置为能够容置第一片盒，凸台位于凹槽内，多个凸台与载盘的顶面组成支撑平面，支撑平面被配置为能够承载第二片盒。本实用新型提供的载台，实现了对多种尺寸片盒的兼容，扩大了载台的适用范围，提高了载台的利用率。另外，将凸台设置在凹槽内，当第二片盒放置在凸台上时能够占用凹槽上方的空间，从而不用增加载盘的整体尺寸，使载盘的结构更加小巧。本实用新型提供的搬运机器人，通过应用上述载台，能够搬运多种尺寸的片盒，实现一机多用，降低设备成本。
基本信息
专利标题 ：
一种载台及搬运机器人
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922066688.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-26
授权号 ：
CN211002515U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
甄静
申请人 ：
上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN201922066688.4
主分类号 ：
B65D25/10
IPC分类号 ：
B65D25/10 B65D25/02
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器，如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器；所用的附件、封口或配件；包装元件；包装件
B65D25/00
其他种类或形式的刚性或半刚性容器的零部件
B65D25/02
内部配件
B65D25/10
将物件定位在容器内的装置
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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